多晶硅回收,多晶硅边角料是固废吗?
答案是肯定的。
多晶硅生产中产生的固体废弃物包括,边角料、废渣、硅粉、二氧化硅、石灰石渣等,这些固废无害、不溶,属一般固体废物。不会对环境造成较大危害。
在垃圾回收目录中,多晶硅生产所生成的上述固体废物,均属于可回收物,有相当高的迎收利用价值。
多晶硅尾气回收工业工艺流程?
包括以下几个步骤:1. 收集尾气:在多晶硅生产过程中,尾气主要来自还原炉和冷氢化炉等设备。这些设备会产生大量的含氢气体,这些气体需要被收集起来。2. 净化处理:收集到的尾气需要进行净化处理,以去除其中的杂质和有害物质。通常会使用一些化学物质,如碱液、水等,来吸收其中的有害物质。3. 压缩液化:经过净化处理的尾气需要进行压缩液化,以便后续的储存和使用。这个过程中通常会使用压缩机等设备。4. 储存运输:压缩液化后的尾气可以储存在专门的储罐中,也可以通过管道进行输送。5. 再利用:尾气中的氢气是一种重要的能源,可以用于生产多晶硅、硅烷等产品,也可以用于生产高纯度的硅烷气体。总之,多晶硅尾气回收工业工艺流程需要经过收集、净化处理、压缩液化、储存运输和再利用等步骤,才能实现资源的有效利用和环境保护。
多晶硅固废处理?
关于这个问题,多晶硅固废处理是指对含有多晶硅废料的固废进行处理和处置。多晶硅是一种高纯度的硅材料,广泛应用于半导体、太阳能电池等领域。由于多晶硅生产过程中产生的固废含有有害物质,如氢气、氟化物等,因此需要进行处理和处置,以避免对环境和人体健康的影响。
常见的多晶硅固废处理方法包括化学处理、物理处理、热处理等。其中,化学处理方法包括酸碱处理、氧化还原处理等,物理处理方法包括筛分、离心等,热处理方法包括焚烧等。
选择合适的处理方法,需要考虑多种因素,如废料的化学成分、产生的废气、废水等。
单晶硅多晶硅提纯工艺研究分析及改进?
改良西门子法是用氯和氢合成氯化氢(或外购氯化氢),氯化氢和工业硅粉在一定的温度下合成三氯氢硅,然后对三氯氢硅进行分离精馏提纯,提纯后的三氯氢硅在氢还原炉内进行CVD反应生产高纯多晶硅。
国内外现有的多晶硅厂绝大部分采用此法生产电子级与太阳能级多晶硅。
(1)石英砂在电弧炉中冶炼提纯到98%并生成工业硅,其化学反应SiO2+C→Si+CO2↑
(2)为了满足高纯度的需要,必须进一步提纯。把工业硅粉碎并用无水氯化氢(HCl)与之反应在一个流化床反应器中,生成拟溶解的三氯氢硅(SiHCl3)。其化学反应Si+HCl→SiHCl3+H2↑ 反应温度为300度,该反应是放热的。同时形成气态混合物(Н2,НС1,SiНС13,SiC14,Si)。
(3)第二步骤中产生的气态混合物还需要进一步提纯,需要分解:过滤硅粉,冷凝SiНС13,SiC14,而气态Н2,НС1返回到反应中或排放到大气中。然后分解冷凝物SiНС13,SiC14,净化三氯氢硅(多级精馏)。
(4)净化后的三氯氢硅采用高温还原工艺,以高纯的SiHCl3在H2气氛中还原沉积而生成多晶硅。其化学反应SiHCl3+H2→Si+HCl。
三氯氢硅氢还原工序详解:
经氯硅烷分离提纯工序精制的三氯氢硅,送入本工序的三氯氢硅汽化器,被热水加热汽化;从还原尾气干法分离工序返回的循环氢气流经氢气缓冲罐后,也通入汽化器内,与三氯氢硅蒸汽形成一定比例的混合气体。
从三氯氢硅汽化器来的三氯氢硅与氢气的混合气体,送入还原炉内。在还原炉内通电的炽热硅芯/硅棒的表面,三氯氢硅发生氢还原反应,生成硅沉积下来,使硅芯/硅棒的直径逐渐变大,直至达到规定的尺寸。氢还原反应同时生成二氯二氢硅、四氯化硅、氯化氢和氢气,与未反应的三氯氢硅和氢气一起送出还原炉,经还原尾气冷却器用循环冷却水冷却后,直接送往还原尾气干法分离工序。
还原炉炉筒夹套通入热水,以移除炉内炽热硅芯向炉筒内壁辐射的热量,维持炉筒内壁的温度。出炉筒夹套的高温热水送往热能回收工序,经废热锅炉生产水蒸汽而降温后,循环回本工序各还原炉夹套使用。
还原炉在装好硅芯后,开车前先用水力射流式真空泵抽真空,再用氮气置换炉内空气,再用氢气置换炉内氮气(氮气排空),然后加热运行,因此开车阶段要向环境空气中排放氮气,和少量的真空泵用水(可作为清洁下水排放);在停炉开炉阶段(约5-7天1次),先用氢气将还原炉内含有氯硅烷、氯化氢、氢气的混合气体压入还原尾气干法回收系统进行回收,然后用氮气置换后排空,取出多晶硅产品、移出废石墨电极、视情况进行炉内超纯水洗涤,因此停炉阶段将产生氮气、废石墨和清洗废水。氮气是无害气体,因此正常情况下还原炉开、停车阶段无有害气体排放。废石墨由原生产厂回收,清洗废水送项目含氯化物酸碱废水处理系统处理。